晶圆盒、硅片盒自动清洗机
| 公司名称： | 厦门和伟达超声波设备有限公司 |
|---|---|
| 地 址： | 厦门火炬高新区（翔安）产业区翔虹路33号 |
| 手 机： | 向先生 13859984373 |
| 电 话： | 5656688 5656655 |
| 公司网址： | www.xm-heda.com |
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周转箱自动清洗机
产品介绍
全自动晶圆盒超声波清洗烘干机
1、设备名称：全自动晶圆盒超声波清洗烘干机
2、设备型号：HD-QC7120/40C
3、设备用途：主要用于清洗4寸晶圆盒
4、设备能力
4.1清洗篮尺寸：400×400mm（L×W）高度根据实际情况另定，以最终设计为主，采用不锈钢材料制作（清洗篮底部采用镂空设计，解决清洗篮对超声波的衰减，有效提高了超声波对盒体清洗力度，从而保证了盒体的清洗质量）。
4.2清洗篮的装载能力：同时可装4寸晶圆盒6套。。
4.3典型生产节拍：0～8min/筐（从装篮进行清洗开始，到完成结束，清洗节拍连续可调）。
4.4生产能力和开机率：生产能力≥120套 /小时，开机率≥95%。
5、设备组成
该设备由1个SUS304不锈钢喷洗槽、2个SUS304不锈钢超声碱洗槽、3个SUS304不锈钢超声漂洗槽、1个SUS304不锈钢脱水槽、1个300LSUS304不锈钢储液槽、1个600LSUS304不锈钢净水槽、2个不锈钢自动进出料装置、1个内胆为SUS304不锈钢三工位热风循环干燥出料装置、A3钢机架（外包不锈钢板）、1.0mm不锈钢外壳、1套智能式双臂多勾机械手、1套甩干脱水装置、5套超声波清洗装置、自动加热恒温装置、自动过滤循环装置、低液位保护装置、密封抽气接口装置、1套马达驱动凸轮上下抛动辅助清洗装置、PP管路系统及触摸屏PLC电气控制系统等组成。详见设备结构示意图。
6、设备工作流程
6.1工艺流程
上料（手动）→喷淋粗洗→超声粗洗（抛动、加热）→超声精洗（抛动、加热）→超声纯水漂洗（抛动、加热）→超声纯水漂洗（抛动、加热）→超声纯水漂洗（抛动、加热）→甩干脱水→通过式三工位烘干→下料（手动）
